摘要：频闪白光干涉技术（SWLI）能够对被测系统进行动态模式的重建和表征,在微机电系统（MEMS）或微光机电系统（MOEMS）等振动样品测量中具有很高的实用性。传统频闪方法不能预先检测或分析具有单个振动激励源的微结构,而频闪白光干涉技术则解决了这一问题。为全面了解这一新开发的技术,本文从理论、技术方法和该技术各种应用的实验结果及分析进行了介绍。该技术为MEMS,MOEMS甚至微纳尺度生物体动态性能的重建和分析提供了一种有效的方法。实验结果和分析证明了频闪白光干涉技术在实际应用中具有良好的可行性和准确性。

摘要：光谱域光纤白光干涉测量技术（WLI）具有精度高、动态范围大、工程实用性强等优点,在光纤传感和精密测量领域有广泛的应用价值。本文回顾了光谱域光纤白光干涉测量技术的发展历程,重点介绍了本研究组在这一领域所开拓的基于相位测量技术的光谱域光纤WLI,包括傅里叶变换WLI及其相对测量术、波长扫描WLI、相移WLI、波数扫描WLI、互相关WLI、步进相移WLI,并展示了该技术在光纤温度、压力、应变等传感器中的应用。

摘要：微片激光自混合干涉仪原理上与迈克尔逊干涉仪不同。主要差别是：激光自混合干涉仪的光束照射在被测物上并被反射回激光器被激光器内放大介质放大。作者课题组研究的的激光自混合干涉仪的测量速度达到了1 m/s以上,10 m空程的环境误差小到了40 nm。它具有全固态、可测＂黑＂目标的位移等性能,又达到了传统激光干涉仪的技术指标。如果第一代光学干涉仪是以光谱灯做光源,第二代光学干涉仪是以He Ne气体激光器做光源的话,固体激光自混合干涉仪因其激光＂自混合＂原理可看成是第三代激光干涉仪。

摘要：介绍了国内外测量探头的研究现状;设计了基于簧线和簧片的弹性机构,建立了典型结构：弹性机构的刚度模型,对不同形状的弹性机构进行了仿真验证;介绍了作者团队研制的几种光学传感器及八款三坐标测量机微纳探头,对探头的性能进行了实验验证与测试;对三坐标测量机微纳测量探头的研究和发展趋势进行了总结和展望。

摘要：如何快速、高精度地测量复杂曲面的三维轮廓是目前的一个热点研究方向。与现有的测量方法相比,条纹投影轮廓测量技术具有非接触测量、测量速度快和重构点云密集等优点,在逆向工程等领域得到了广泛的应用。本文搭建了基于条纹投影轮廓测量技术的复杂曲面测量装置,并且对相位误差标定及补偿、投影仪精确标定、高阶系统模型简化以及有效点云快速识别等条纹投影轮廓测量的关键技术进行了深入地研究。最后使用该装置进行了叶片表面轮廓测量实验,实验结果表明,本文设计装置的测量偏差最大值不超过0.05 mm。